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真空镀膜机的阴极电弧技术

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真空镀膜机的阴极电弧技术

发布日期:2017-12-25 作者: 点击:

    真空镀膜机的阴极电弧技术是利用真空环境下的弧光放电,使固体阴极靶材蒸发、电镀设备价格离化并通过等离子体的强化作用,飞向阳极基体表面沉积成膜的技术。正因为如此,阴极电弧技术具有极高的沉积速率。

在含有惰性气体或反应气体的真空环境下沉积在基体表面,具有高能量的离子束对于提高膜基结合力和打乱膜的柱状晶结构是非常有利的,从而也可大幅度改善膜的组织结构和力学性能。目前,各薄膜设备制造商通过对成膜原理和工艺的研究采用各种不同的措施来减少“液滴”

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的产生。


其中BAI1200、RCS是采用圆形平面阴极源技术和辐射加热技术,可进行快速镀膜生产。利用该工艺制备的TiAlN 可增强加工工具切削刃的稳定性,并使干切削加工成为可能。


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